熱電対
熱電対
白金系半導体製造CVD装置用熱電対
熱電対とは、異種金属を接合することにより、その接合点間の異なる温度に応じた起電力が発生するゼーベック効果を応用した温度測定センサーです。異種金属素材として白金-ロジウム系を素線とした熱電対を販売しています。
松田産業が販売するCVD装置用熱電対
国際規格に準じているIEC（国際電気標準会議）規格に順応。
充実したトレーサビリティ体系。
TYPE-R.S class 1 TYPE-B.class 2 を販売。
新規品、及び改鋳品に対応。
特徴
・高度な品質システム：IS09001:2008
・OEM認定ベンダー ⇒半導体装置メーカー主要OEMサプライヤー
・熱電対の設計およびエンジニアリングサービスを提供
・TC交換（SWAP）プログラム ⇒ 改鋳サービス
・精密な温度測定と優れた再現性で世界クラスのキャリブレーション
※当社が販売する熱電対は日本ハネウエル株式会社が製造しています。
規格
| 保証温度 | IEC規格 | |
|---|---|---|
| Class1 | Class2 | |
| 600℃ | ±1.0℃ | ±1.5℃ |
| 700℃ | ±1.0℃ | ±1.75℃ |
| 800℃ | ±1.0℃ | ±2.0℃ |
| 900℃ | ±1.0℃ | ±2.25℃ |
| 1000℃ | ±1.0℃ | ±2.5℃ |
| 1100℃ | ±1.0℃ | ±2.75℃ |
| 1200℃ | ±1.3℃ | ±3.0℃ |
| 1300℃ | ±1.6℃ | ±2.25℃ |
| 1400℃ | ±1.9℃ | ±3.5℃ |
| 1500℃ | ±2.2℃ | - |
| 1600℃ | ±2.5℃ | - |
| 600℃ | ±1.0℃ | ±1.5℃ |
※保証温度許容差 IEC規格のclass1.class2に準じる
熱電対については
こちらよりお問合せ下さい。
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