精密洗浄/貴金属回収精製
Inside Chamber Life Cycle Management

精密洗浄 - 貴金属回収精製

装置部品洗浄・溶射加工・貴金属回収精製

＜真空装置内貴金属ループビジネス＞

真空装置部品洗浄～貴金属回収・精製～成膜材料加工

精密洗浄とは、真空装置内の環境を維持するための部品洗浄技術です。
蒸着装置やスパッタリング装置などの真空成膜装置は装置内部部品にも成膜金属が堆積します。装置内環境を維持する為に定期的に内部部品から堆積貴金属を剥離し再生する精密洗浄が必要です。精密洗浄は、部品の寿命延長・装置内浄化による歩留まり向上、原価低減をもたらします。また、堆積膜剥がれ抑制効果を溶射加工を施工することで実現出来ます。
装置部品洗浄で剥離された貴金属は回収・精製し、再び成膜材料（蒸着材・スパッタリングターゲット）に加工します。成膜材料として返却することで貴金属のループビジネスが完結します。

真空装置部品精密洗浄の特徴

インサイドチャンバーライフサイクルマネジメント概要

スパッタリングターゲット

真空蒸着材料

真空成膜装置に関する３つの価値をパッケージ化
当社の精密洗浄は、貴金属成膜装置（蒸着装置・スパッタリンツ装置）の部品洗浄に特徴があります。
装置部品洗浄・貴金属回収精製・成膜材料加工の３つの価値を合体し、貴金属地金管理を含めた真空装置内の貴金属のライフサイクルをマネジメントする「インサイドチャンバー・ライフサイクル・マネジメント」を提供致します。

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真空装置内トータルソリューション

真空成膜材料の販売と精密洗浄による部品再生と半導体成膜装置のメンテナスに不可欠な溶射加工・貴金属リサイクルを中心に、関連するビジネスをトータルで行える事業体制。
貴金属資源の有効的な活用を目的に、問題解決型の「貴金属ライフサイクルマネジメント」のループを回転します。

貴金属回収の為の真空成膜装置部品洗浄を業界で先駆けて事業化、
「精密洗浄」が標準ワードに。

インサイドチャンバーライフサイクルマネジメント概要

貴金属の回収・精製、リサイクルで70年以上の経験を基に、お客様の要求を満たすためのカスタマイズ可能なソリューションパッケージを提供します。専門技術サービスチームが要求に沿ったソリューションを提案致します。工場においては、専門的なエンジニアチームが最良の回収・精製・洗浄方法を継続的に模索しております。

インサイドチャンバーライフサイクルマネジメントは、以下の薄膜堆積
プロセスでの副産物からも貴金属を回収・精製しリサイクルします。

お客様がシールド等から
剥離した剥離物
ウエハー・基板、蒸発材料の
スクラップ
使用済蒸発るつぼ
サプライヤーに関係なく、
使用済スパッタリング
ターゲット

インサイドチャンバー
ライフサイクル
マネジメントに関しては
こちらからお問合せ下さい。

Contact

真空装置部品精密洗浄・溶射加工の特徴

精密洗浄という真空装置（蒸着装置・スパッタリング装置）部品洗浄は、半導体・電子部品製造時に欠かすことが出来ません。
貴金属精製技術から派生した独自の堆積物剥離洗浄と半導体成膜装置のメンテナンスに不可欠な溶射加工技術で業界をリードしてきました。この事業により真空チャンバー内のシールドキット等の長寿命化による生産パフォーマンスの向上と貴金属資源の効率活用の道を広げました。当社は「インサイドチャンバーライフサイクルソリューション」(ICLCM)として包括的に提供しています。