熱電偶
熱電偶
白金族系熱電偶用於製造半導體之CVD裝置
熱電偶是應用席貝克效應(Seebeck effect)的溫度測量感測器，原理是藉由接合不同金屬之接合點間因溫度而引起的不同電動勢(EMF)。
松田產業販賣的熱電偶產品是使用白金-銠金屬為素線材質之熱電偶。
松田産業販賣的CVD裝置用熱電偶
與國際規範IEC（國際電子標準會議）相符。
可追溯之生產體系。
販售TYPE-R.S class 1 TYPE-B.class 2。
新規格品、以及改鑄品皆可對應。
特徵
・良好的品質系統：IS09001:2008
・OEM認定業者 ⇒半導體裝置USE所認定之OEM製造鏈
・提供熱電偶的設計及工程服務
・TC交換（SWAP）專案 ⇒ 改鑄服務
・世界級的校準規格、精密的溫度量測性及優異的再現性
※敝司所販售的對電偶由日本Honeywell製造。
關於熱電偶的詳細資料請聯絡我們。
規格
| 保證溫度 | IEC規格 | |
|---|---|---|
| Class1 | Class2 | |
| 600℃ | ±1.0℃ | ±1.5℃ |
| 700℃ | ±1.0℃ | ±1.75℃ |
| 800℃ | ±1.0℃ | ±2.0℃ |
| 900℃ | ±1.0℃ | ±2.25℃ |
| 1000℃ | ±1.0℃ | ±2.5℃ |
| 1100℃ | ±1.0℃ | ±2.75℃ |
| 1200℃ | ±1.3℃ | ±3.0℃ |
| 1300℃ | ±1.6℃ | ±2.25℃ |
| 1400℃ | ±1.9℃ | ±3.5℃ |
| 1500℃ | ±2.2℃ | - |
| 1600℃ | ±2.5℃ | - |
| 600℃ | ±1.0℃ | ±1.5℃ |
※保證溫度公差 以IEC規格之class1.class2為基準。
