精密洗浄/貴金屬回収精製
Inside Chamber Life Cycle Management
精密洗淨 - 貴金屬回收精煉
設備零件洗淨・溶射加工・貴金屬回收精煉
＜真空鍍膜設備内貴金屬循環商務＞
真空鍍膜設備部品洗浄～貴金屬回収・精製～鍍膜材料加工
精密洗淨是為了維持真空設備內的潔淨腔體環境而產生的零件清洗技術。
蒸鍍設備與濺鍍設備等真空沉積鍍膜設備的內部零件也會推積沉積的鍍膜金屬。為了維持設備腔體潔淨，必須進行定期化的精密洗淨，以除去沉積的貴金屬膜層並進行貴金屬再生。精密洗淨具有延長零件的使用壽命‧維持腔體潔淨提升良率、降低生產成本等優點。此外，防止堆積的膜層剝落（Peeling）的表面粗度溶射加工處理也是精密洗淨服務的一部分。
設備零件洗淨後剝除下的貴金屬屑物料，可藉由回收‧精煉，再製為氣相沉積材料（蒸鍍材‧濺鍍靶材），形成一個完整的貴金屬循環。
提供真空鍍膜設備完整解決方案的3項價値
松田產業專門為貴金屬鍍膜裝置（蒸鍍裝置・濺鍍裝置）提供精密洗淨技術的服務。
同時提供「裝置零件洗淨・貴金屬回收精煉・加工再製鍍膜材料」3項價値，
提供全方位的貴金屬管理方案「Inside Chamcer・Life Cycle・Management」。
真空鍍膜設備內整體解決方案
以販賣真空鍍膜材料為中心，同時提供相關業務的整體解決方案
以有效活用貴金屬資源為目的，構築「貴金屬生命週期管理」的循環體制。
期許成為真空鍍膜設備的零件清洗事業的先驅，讓「精密洗浄」成為服務標準詞。
Inside Chamber Life Cycle Management概述
活用70年來的貴金屬回收・精煉、再利用化技術與經驗，提供可滿足客戶要求的可客製之整體解決方案。由我們的專業技術服務團隊進行規劃提案。在工廠內，亦有專職的工程團隊持續優化回收・精煉・洗浄之技術。
Inside Chamber Life Cycle Management
針對下述鍍膜沉積工程中之副產物進行回收・精煉及再利用化。
- 由客戶自行剝除下來之
金屬屑等剝離物 - 晶圓・基板、蒸鍍材料的
殘料、下腳料 - 使用完畢之蒸鍍坩鍋
- 已使用之濺鍍殘靶
(無製造商之限制皆可收料)
Inside Chamber Life Cycle Management
諮詢請由此進
真空鍍膜裝置零件精密洗淨的特徵
松田產業以源自貴金屬精煉技術所衍生出的沉積膜層剝離技術與洗淨技術引領業界至今。此項技術服務最初透過延長真空鍍膜腔體內工件的使用壽命，同步提升了客戶的生產效率，並為有效活用貴金屬資源的課題拓展了新的里程碑。松田產業提供的是系列性且全面性的解決方案，「Inside Chamber Life Cycle Management」。
日本國內設有2處廠房，亞洲地區另設有3處廠房，同步提供純熟的洗淨技術服務。
松田產業以創新的洗淨技術及歷史悠久的貴金屬精煉技術，滿足客戶對真空鍍膜設備零件之清洗再生需求。
- 世界級半導體設備原廠
所認證之洗淨工廠 - 無塵室級別Class1,000
使用管理基準為17MΩ以上
之超純水進行
超音波洗淨 - 為避免Cu汙染 進行工程分流管理
- 設有各式分析設備
各別工程之服務介紹
高超純熟的技術與服務
為客戶的真空裝置內部零件清洗需求提供創新的洗淨技術。
- 與世界級半導體設備大廠進行事業合作（針對某些素材之零件，松田產業為該設備廠之原廠認定洗淨工廠）
- 可針對加工後的狀態進行脫脂洗淨 （乙醇、酸性/鹼性）
- 無塵室內進行之精密洗淨 【超純水洗淨：阻抗値17.0MΩ 以上/超音波洗淨】
- 設有Class1,000、Class100之無塵室
- 避免Cu汙染之對策【區分Cu洗淨專用產線、非Cu洗淨線】
- 汚染/不純物微粒汙染之對策【加壓水洗淨 、各式分析設備】
再生洗浄（濺鍍設備/蒸鍍設備的沉積鍍膜剝離）
以金屬鍍層為主，擁有多數電子製造業種客戶之洗淨服務實績。
真空鍍膜設備內零件精密洗淨工程
*針對提升膜層表面附著程度與零件應力緩和的最佳平衡點進行評估，以防止鍍層剝落(Peeling)與減少不純物微粒為目的，提供最妥適的洗淨工程條件。
溶射品可配合使用表面粗糙儀量測，或顯微鏡・SEM等進行表面及截面之鍍層觀察、拉力試驗機評估附著力等。
